单位体检是企业或机关单位对员工进行的一项常规检查，旨在保障员工的身体健康和工作安全。在进行单位体检时，家属代替员工进行体检是违法的。因为单位体检是针对员工的，而家属并不属于单位的雇员，因此没有资格接受单位体检。

家属代替员工进行体检不仅违法，而且可能导致健康风险。因为家属的身体状况和职业环境不同，可能存在一些健康问题，这些问题在单位体检中可能会被忽略或误诊，从而影响到员工的工作和生活。

如果单位发现有员工让家属代替自己进行体检，应该及时制止并采取相应的惩罚措施。同时，单位也应该加强对员工的健康管理，提高员工的健康意识和健康素养，以保障员工的身体健康和工作安全。